W. Mortelmans, A.N. Mehta, Y. Balaji, S. Sergeant, R. Meng, M. Houssa, S. De Gendt, M. Heyns, and C. Merckling

DOI: 10.1021/acsami.0c05872 ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 12, 24, 27508–27517 (2020)

Resource type:

https://lirias.kuleuven.be/retrieve/609868